Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения (Берлин Евгений Владимирович, Сейдман Лев Александрович, Григорьев Василий Юрьевич); Техносфера, 2019

Книга: Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения (Берлин Евгений Владимирович, Сейдман Лев Александрович, Григорьев Василий Юрьевич); Техносфера, 2019

от 519 до 1386

Издатель: Техносфера
ISBN: 9785948365190
EAN: 9785948365190
Книги: Физика
ID: 2532403
Добавлено: 07.08.2018

Рейтинг:

(5/5)

Описание

Тенденции развития современной технологии электронной техники заключаются в увеличении степени интеграции изделий на поверхности подложек, что связано как с увеличением диаметра применяемых в производстве подложек, так и с уменьшением геометрических размеров элементов изделий на их поверхности. Сегодня размеры используемых полупроводниковых подложек возросли до 450 мм, а размеры элементов, формируемых на пластине в серийном производстве, уменьшились до 0,02-0,04 мкм. В результате степень интеграции выросла до одного миллиарда и более полупроводниковых приборов на одной пластине.
Использование ВЧ разряда индуктивно связанной плазмы (ICP) как плазмообразующего источника предоставляет большие преимущества для технологии изделий с микро и нано элементами. В частности, с его помощью достигают высокую плотность плазмы (1011-1012 см-3), минимальный разброс ионов по энергиям (?ei ? 5 эВ), относительно низкое рабочее давление (10–2?10–1 Па) и низкую энергетическую цену иона (30?80) эВ/ион. Благодаря отсутствию накаливаемых узлов, источник ICP обладает большим ресурсом работы с химически активными газами. Особенно важно, что он предоставляет возможность независимого управления энергией и плотностью потока ионов, поступающих на подложку. Успехи в конструировании источников ICP для целей микроэлектроники побудили разработчиков оборудования применить их и в других отраслях, например, в азотировании стальных деталей, обработке полимерных пленок и нанесении специальных покрытий методами PVD и PECVD.
За последнее десятилетие эти источники нашли широкое промышленное применение, по которому появилось большое количество новой информации. Поэтому назрела необходимость составления обзора, цель которого систематизация основных экспериментальных результатов разработки и применения источников ICP.
В книге приведено описание принципов действия, особенностей и преимуществ источников ICP и рассмотрены многочисленные варианты конструкций современных источников ICP. Приведены также примеры технологических применений описываемых источников для нанесения тонких пленок: в процессах PVD и PECVD. И, кроме того, описано формирование плазмохимическим травлением трехмерных структур в различных материалах и двумерных структур в тонких пленках и связанное с такой обработкой существенное изменение свойств поверхностей различных материалов, в особенности полупроводников.
Таким образом, настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по конструкциям и применению источников ICP. В ней обобщено современное развитие этих технологических процессов и используемого для них оборудования. Книга рассчитана на студентов, аспирантов, конструкторов нового технологического оборудования, использующего источники ICP, и технологов, работающих на таком оборудовании. Конструкторы найдут в ней обзор способов достижения высоких параметров источников ICP, а технологи ознакомятся с широким спектром их применения и полученных с их помощью достижений. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.

Смотри также о книге.

СкидкаГИД инфо +

Сервис сравнения цен СкидкаГИД предлагает сравнить цены на товар «Книга: Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения (Берлин Евгений Владимирович, Сейдман Лев Александрович, Григорьев Василий Юрьевич); Техносфера, 2019»

По данным нашего сервиса товар предлагался к продаже в 9 магазинах. На сегодняшний день доступен в 6 магазинах: Читай-город, Буквоед, book24, ЛитРес, Яндекс.Маркет, Мегамаркет. По цене от 519 р. до 1386 р., средняя цена составляет 1119 р., а самая низкая цена в магазине ЛитРес. В случае, если для вас на данный момент цена слишком высока, вы можете воспользоваться сервисом «Сообщить о снижении цены» - мы оповестим вас как только цена опустится до желаемого значения. Но будьте внимательны, используя сервис «История цены» можно спрогнозировать в какую сторону изменяется цена, возможно сейчас самое время для покупки.

Кроме сервиса сравнеция цен, наш сайт также позволяет экономить еще двумя способами: промокодный сервис (информация о промокодах, а также скидки и акции на товары), а также собственный кэшбэк сервис. Купить с кешбеком можно в следующих магазинах: Читай-город, Буквоед, book24, ЛитРес, Яндекс.Маркет. А информация о промокодах доступна рядом с ценой от магазина и постоянно обновляется.

Также покупатели оставили 1 отзыв и высоко оценили данный товар. Если у вас есть чем дополнить данные отзывы, напишите свой отзыв. Или оцените уже имеющиеся отзывы +1 -1

О книге

Основные характеристики товара
Параметр	Значение
ISBN	978-5-94-836519-0
Автор(ы)	Берлин Евгений Владимирович, Сейдман Лев Александрович, Григорьев Василий Юрьевич
Автор	Берлин Евгений Владимирович, Григорьев Василий Юрьевич, Сейдман Лев Александрович
Вес, в граммах	315
Вес	0.86кг
Возрастное ограничение	16+
Возрастные ограничения	12
Год издания	2019
Издатель	Техносфера
Издательство	Техносфера
Кол-во страниц	464
Количество книг	1
Количество страниц	464
Назначение	для технических ВУЗов
Обложка	твердый переплёт
Раздел	Физические науки
Размеры	17,00 см × 24,20 см × 2,60 см
Серия	Мир материалов и технологий
Тематика	Физика
Тип обложки	твердая
Формат	170x242мм

Где купить (6)

Как купить или где мы находимся +

Цена от 519 руб до 1386 руб в 6 магазинах

Также рекомендуем ознакомиться с ценами на Яндекс.Маркет.

Похожие предложения вы можете найти в нашей подборке:
Книги: Физические науки. Астрономия - издательство "Техносфера"
Книги: Физические науки. Астрономия с ценой 415-622 р.

сообщить о снижении цены

Книга: Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения (Берлин Евгений Владимирович, Сейдман Лев Александрович, Григорьев Василий Юрьевич); Техносфера, 2019
Магазин	Цена	Наличие
Буквоед 5/5 ООО «Новый Книжный Центр» ИНН: 7710422909	1199 Минимальная сумма заказа 100 рублей Крупнейшая сеть книжных магазинов Кэшбэк до 6.3% история цены +23.4% Промокоды на скидку	обновлено 29.12.2024

book24 5/5 ООО «Новый Книжный Центр» ИНН: 7710422909	1199 Минимальные сроки доставки. Кэшбэк до 6.3% история цены +22.9%	обновлено 29.12.2024

ЛитРес 5/5 ООО «Литрес» ИНН: 7719571260	519 Электронная книга Кэшбэк до 14% история цены -25.0%	обновлено 15.08.2024

Читай-город 5/5 ООО «Новый Книжный Центр» ИНН: 7710422909	1199 Кэшбэк до 6.3% история цены	обновлено 14.11.2024

Мегамаркет 5/5 ООО "МАРКЕТПЛЕЙС" ИНН: 9701048328	1213 Повышенный кешбэк до 40% история цены +17.0% Промокоды на скидку	обновлено 21.12.2024

Яндекс.Маркет 5/5 ООО "ЯНДЕКС" ИНН: 7736207543	1386 Кэшбэк до 3.8% история цены +25.1% Промокоды на скидку	обновлено 27.06.2024

Avito 5/5 ООО КЕХ еКоммерц ИНН: 7710668349	Avito доставка позволит получить любой товар, не выходя из дома Кэшбэк 57

История цены
Магазин	Последняя известная цена	Обновлено
Лабиринт	986 история цены -30.6%	21.11.2024
МАЙШОП	598 история цены -4.7%	23.06.2024
OZON	587 история цены	24.06.2024

Кэшбэк сервис СкидкаГИД

На сегодняшний день товар «Книга: Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения (Берлин Евгений Владимирович, Сейдман Лев Александрович, Григорьев Василий Юрьевич); Техносфера, 2019» можно купить с кешбеком в 5 магазинах: Буквоед, book24, ЛитРес, Читай-город, Яндекс.Маркет

Кэшбэк – это возврат части денег, потраченных Вами в интернет-магазинах. Всего на нашем сайте более 500 магазинов, с многими из которых Вы наверняка уже знакомы. У каждого магазина свои условия. Кто-то возвращает процент от покупки, а кто-то фиксированную сумму.

Заказывайте он-лайн и получайте часть денег обратно, подробнее..

Пункты выдачи СДЭК г. Балашиха

Вы можете получить свои товары в ближайшем пункте выдачи СДЭК

ул. Смельчак, 16
от остановки Платформа Кучино примерно 500 метров пешком на улицу Смельчак дом 16
+79932651464;
Пн-Пт 10:00-21:00, Сб-Вс 10:00-20:00
ул. Кольцевая, 14
От метро Первомайская маршрутка 1013 до остановки «Кольцевая ,12»
+79017203501;
Пн-Пт 10:00-20:00, Сб-Вс 10:00-18:00
пр. Ласточкин, вл8, стр.8Б
Остановка-Ж/Дстанция Заря 50 метров, автобус - платформа Заря 50 метров, мкр Заря 500 метров
+74957284532;
Пн-Вс 10:00-20:00
ул. Кожедуба, 4
С Москвы автобусами № 102,889,384 до остановки "Летная" С Балашихи автобусами № 889,102, 15, 22 до остановки "Летная" ПВЗ находится в жилом доме, напротив котельной, вход со двора
+79262763675;
Пн-Пт 10:00-20:00, Сб-Вс 10:00-18:00
ул. Лукино, 57А
напротив остановки «Алексеевская Роща»
+79265573208;
Пн-Пт 10:00-20:00, Сб-Вс 10:00-18:00
ул. Объединения, 9/28
Пересечение улиц Свердлова и Объединения, бело-голубой высотный многоквартирный дом, вход со стороны ул. Свердлова, напротив Сбербанка, общих вход с магазином Самоделкин
+79260600802;
Пн-Пт 10:00-20:00, Сб-Вс 10:00-18:00
ЗАВОДСКОЙ ПРОЕЗД, 4
Автостанция Балашиха-3, пройти один двор в сторону стадиона, цокольный этаж в жилом доме
+79169923666; +74951459645;
Пн-Пт 10:00-20:00, Сб-Вс 10:00-18:00
ул. Молодежная, 2А
Магнит Косметик
+74950090405;
Пн-Вс 09:00-21:00
ул. Яганова, 12
От станции м Щелковская на маршрутке 447к до остановки Никольско-Трубецкое., От станции электрички Балашиха на маршрутке 9к до остановки ЖК Пехра
+79776363123;
Пн-Пт 10:00-20:00, Сб-Вс 10:00-18:00
ул. Центральная , 35
150 метров от МЦД 4 ст Кучино
+79250890115;
Пн-Пт 10:00-20:00, Сб-Вс 10:00-18:00
ул. Зелёная, 32к2
Войти в супермаркет Магнит Косметик через центральный вход, на 1 этаже около входа расположен постамат.
+74950090405;
Пн-Вс 09:00-21:00
ул. Евстафьева, 1/9
автобусом 5, 22 маршруткой 4к,6к,9к, 22к или личным транспортом по указанному адресу
+79309187731;
Пн-Пт 09:00-21:00, Сб-Вс 10:00-18:00
1 Мая мкр, 4, корпус 1, помещение 1-5
+79858723062;
Пн-Вс 10:00-20:00
ул.Твардовского, 38
мкр-н Южный, со стороны улицы.
+79852444886;
Пн-Пт 10:00-20:00, Сб-Вс 10:00-18:00

ул. Реутовская, 5
Маршрутка 1263К от станции метро Новогиреево до остановки ЖК Измайловский Лес
+79969689307;
Пн-Пт 10:00-21:00, Сб-Вс 10:00-18:00
ул. Советская, 56
От остановки Хлопкопрядильная фабрика двигаться 2-3 минуты в сторону Балашихинского шоссе.
+79197624287; +79851657990;
Пн-Пт 10:00-20:00, Сб-Вс 10:00-18:00
ул. Саввинская, 2А
Вход со стороны улицы 1 Мая
+74951234794;
Пн-Пт 09:00-21:00, Сб-Вс 09:00-19:00
ул. Смельчак, 16
Постамат расположен в помещении пункта выдачи "OZON".
+74950090405;
Пн-Вс 10:00-21:00
проспект Ленина, 31
ТЦ Радуга, цокольный этаж
+74950090405;
Пн-Вс 10:00-21:00
ул. Ситникова, 2
От метро Новогиреево15-30 минут автобус или маршрутка 108,110, 1132,1176
+79060644305;
Пн-Пт 10:00-21:00, Сб-Вс 10:00-18:00
ул. Нарвский просек, 25
Прямо по Вешняковскому шоссе, перед въездом в мкр. Дзержинский (с левой стороны) в офисном здании в 100 метрах от остановки «улица Чехова»
+79265485162;
Пн-Пт 10:00-20:00, Сб-Вс 10:00-18:00
ул. Автозаводская, 5
первый этаж жилого дома
+79771079880;
Пн-Вс 10:00-21:00
ТЦ М7, Шоссе энтузиастов владение, 1А, лит. 6В, 1 этаж, пом. 11
Съезд с шоссе Энтузиастов после МКАД, с левой стороны торговый центр М7
+79858120560;
Пн-Пт 10:00-19:00, Сб-Вс 10:00-18:00
Разинское шоссе, 12
жд станция "Салтыковка" Горьковского направления.5 минут пешком от станции. Маршрутное такси 4К ,6К остановка конечная " МЦД Салтыковка". Вход со стороны Разинского шоссе
+74990093553;
Пн-Вс 10:00-21:00
пр-т Героев, 18
Вход со стороны дороги , ориентир магазин хозтоваров, ближе к центру дома.
+79150271727;
Пн-Пт 09:00-21:00, Сб-Вс 09:00-20:00
пр-т Ленина, 8
Остановка МФЦ. Пешком в сторону церкви по проспекту Ленина (МФЦ остается сзади). Пройдя дом №8, по левую руку с торца дома будет отдельный вход в цокольный этаж с вывеской «CDEK». Спуститься по ступеням.
+74991131335;
Пн-Пт 10:00-20:00, Сб-Вс 10:00-18:00
пр-т. Ленина, 32Б
+74993481586;
Пн-Пт 10:00-20:00, Сб-Вс 10:00-18:00
ул. 12-ая линия, 2А
Универсам Верный у входа
+74950090405;
Пн-Вс 00:00-23:59

ул. Некрасова, 8
Магнит Косметик
+74950090405;
Пн-Вс 09:00-21:00
ул. Свердлова, 7
Перекресток
+74950090405;
Пн-Вс 00:00-23:59
ул. Маяковского, 25
Войти в магазин Фикс-Прайс через центральный вход, на 1 этаже около входа расположен постамат
+74950090405;
Пн-Вс 09:00-21:00
ул. Бояринова, 11
+74950090405;
Пн-Вс 09:00-21:00
ул. Советская, 2/9
Войти в отделение банка Совкомбанк через центральный вход, на 1 этаже расположен постамат
+74950090405;
Пн-Пт 09:00-18:00, Сб 09:00-17:00
ул. Спортивная, 4
Войти в супермаркет Дикси через центральный вход, на 1 этаже около входа расположен постамат
+74950090405;
Пн-Вс 08:00-23:00
ул. Владимирская, 139
Постамат расположен на первом этаже в ТЦ “ Контур” вход с раздвижными дверьми
+74950090405;
Пн-Вс 08:00-23:00
мкр. 1 Мая, 27
Войти в супермаркет Магнит Косметик через центральный вход, на 1 этаже около входа расположен постамат.
+74950090405;
Пн-Вс 08:00-23:00
ул. Аптекарская, 1
Войти в магазин Фикс-Прайс через центральный вход, на 1 этаже около входа расположен постамат.
+74950090405;
Пн-Вс 09:00-21:00
ул. Центральная, 41, корп. 1
Войти в магазин Секонд Хэнд через центральный вход, на 1 этаже около входа расположен постамат
+74950090405;
Пн-Сб 10:00-20:00, Вс 11:00-19:00
ул. Шоссейная, 5
ТЦ Парус
+74950090405;
Пн-Вс 00:00-23:00
мкр. Керамик ул. Свободы, 8, корп. 1
Магазин Бристоль. Вход где вывеска Мясо.
+74950090405;
Пн-Вс 08:00-23:00

Цены в соседних городах

Отзывы (1)

User91961-19
- 15 июня 2022

5/5

Очень нужная книга для специалиста. Настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по конструкциям и применению источников Индукционной связанной Плазмы. Книга рассчитана на студентов, аспирантов, конструкторов нового технологического оборудования, использующего источники ICP, и технологов, работающих на таком оборудовании. Конструкторы найдут в ней обзор способов достижения высоких параметров источников ICP, а технологи ознакомятся с широким спектром их применения и полученных с их помощью достижений.
0 0